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其灭菌机制是以饱和水蒸气为介质进行灭菌，当高温高压的水蒸气与微生物接触时，会使微生物肽链断裂，对酶结构造成不可逆的破坏，以达到彻底灭菌的目的。
其主要流程依次包括脉动、升温、灭菌、排气、干燥。在选择织物程序的情况下，脉动时，真空泵首先将内室空气抽出，使内室压力下降至设定值，一般为—80kPa，随后由夹层往内室充入饱和蒸汽至 +80kPa。以此往复 3 次，总时间在 15min 左右。脉动结束后进入升温阶段，再次往内室充入饱和蒸汽，使内室压力与温度缓慢上升至 215kPa、134℃，此阶段正常时长为5min 左右。保持此压力与温度 5min，以达到对微生物的消杀目的。最后将内室蒸汽排出并再次抽空干燥，结束程序。
